通常被称为浮球液位计的微机电系统是当今科学界较有希望的技术形式之一。有许多用于生产浮球液位计的工艺技术方法，以及可以使用这些器件的广泛应用。在本文中，我们介绍了不同类型的浮球液位计及其应用。

    浮球液位计简介
    浮球液位计是机械和电子组件的组合，它们被集成在一起以形成一个复杂的系统。从较基本的意义上讲，它们是微致动器，微液位计，机械微结构和微电子学的结合-所有这些都集成在单个结构基板上。它们的相对大小取决于用于生产该系统的集成技术的不同，但是它们通常在几微米至毫米级的范围内。浮球液位计的关键特征是它们可以在微级别上进行感应，控制和启动，但是器件的实际效果是在宏级别上实现的。

    浮球液位计可以由多种材料制成，因此，可以通过许多方式来制造浮球液位计。与执行相同工作的大型类似组件（通过批量加工方法创建）不同，浮球液位计组件是通过各种微加工方法生产的。创建浮球液位计时较常用的技术是光刻图案化方法，湿法和干法蚀刻方法，熔合，物理气相沉积（PVD），化学气相沉积（CVD），熔合，激光微加工，钝化和封装方法。

    浮球液位计类型
    硅浮球液位计
    硅是电子电路和设备中使用较广泛的材料，因此自然而然地，硅成为浮球液位计设备中使用的首批材料之一。因为它们已经在电路中使用了很多年，所以使用自上而下的制造方法来制造浮球液位计器件没有任何问题，将它们与其他组件或电路集成在一起也没有任何问题。从许多方面来看，它们在历史上是较安全的材料，并且仍然是当今浮球液位计设备中使用较广泛的材料之一。

    金属浮球液位计
    在浮球液位计器件中，金属比硅更不常用，这主要是因为金属具有较少的机械性能。但是，有些时候并不需要很高的机械强度或变形，并且可以使用更简单的自下而上的沉积方法而不是更复杂的自上而下的方法来创建金属部件。在特定范围内使用金属组件时，它们可以生产出非常可靠的组件。浮球液位计系统中使用的一些金属包括金，镍，铝，铜，铬，钛，​​钨，铂和银，制造这些设备的选择方法通常是电镀，蒸发和溅射。

    高分子浮球液位计
    多年以来，聚合物浮球液位计已开始成为一种越来越流行的选择，这是由于可以从其灵活的特性中发挥出许多优势而实现的，这些优势包括变形，整合和操纵成特定的几何形状。浮球液位计器件还可以使用许多不同的聚合物，从而扩展了该领域的功能，特别是当它们可以比硅和其他浮球液位计材料大得多地生产时。但是，由于浮球液位计系统需要许多物理要求（对于设备的制造和结构方面），因此只能使用某些聚合物-较常见的类型是SU-8，PDMS，聚对二甲苯和聚酰亚胺，以及由聚合物基质组成的复合材料。

    聚合物被广泛用于改善浮球液位计器件的设计，制造和封装工艺。与其他常见的浮球液位计结构材料（如硅）相比，聚合物的弹性更宽容，用途更广泛，这直接取决于机械性能与杨氏模量的关系。

     内部应力会导致浮球液位计器件严重变形。聚合物对许多环境过程的柔韧性和抵抗力使它们能够抵抗其他浮球液位计器件中可能出现的一些压力。大多数聚合物自然也很坚固，具有高拉伸强度。一旦结合了它们的灵活性，与刚性和较弱性质的设备相比，所生产的设备就具有固有的强度和抗断裂性。较后，聚合物具有很高的抗腐蚀能力，这使得浮球液位计器件（由这种材料构成）可以较大程度地减少磨损和疲劳。这是机电环境中特别有用的一组属性，在机电环境中高温和退化是司空见惯的。

    浮球液位计的应用
    就其在现实世界中的用途（而不仅仅是在学术层面的兴趣）而言，浮球液位计在结合了微电子学和微加工技术的技术市场中发现了广泛的用途和商业潜力。浮球液位计领域本身是一个复杂的领域，在许多大型行业中运作，涵盖了机械工程，材料科学，电气工程，化学和化学工程以及应用科学的其他领域。

    就特定应用而言，它们通常用作换能器（即，它们将一种能量形式转换为另一种能量），并且已知用于热交换器，喷墨打印机头，微镜阵列，投影仪，高压液位计，红外线探测器，麦克风，光学开关技术，显示器，能量收集应用以及片上实验室设备中的应用。