磁翻板液位计微执行器的主要特点
从直观上看.微执行器的功能和一般执行器非常类似.它仅仅是~般执行器在几何尺寸上的缩小.其实不然,这是由于当微执行器的特征尺寸一旦小到微米或纳来数量级后,某些传统机械的物理持性有可能不再适用,便得两者之间在加工方法、设汁思想、结构特点、材料选择、直至基本机理等方面均有很大区别.再由干微执行器的仲类萦多,涉及面很广,是一门多学科的综合交又技术。它涉及到微电子学、微机械学、微动力学、微摩擦学、材料学及微热力学等多种学科.这给微执行器的开发研制增加了许多困难.并引发出许多技术的不断创新。再者,由于微小尺寸效应,使得宏观世界的许多知识与法则不再适用,这又引起了设计思想和加工工艺的创新。并引出了许多值得深人研究的新课题.诸如:
1)摩擦和磨损许多执行器中往往都存在着运动部件,必然要产生相对摩擦和磨损。例如。防腐液位计马达是自动控制系统中最常见的执行器之一其应用范围遍及各个领域。在一般的马达中,机械摩擦损耗仅占其总愉出功率的百分之几甚至更小。而在直径仅为1^-2 mm.高度不到〕mm的电进型微马达中.由于它所产生的电磁转矩很小,仅在1zN-m数量级。机械摩林撅耗所占的比例就很大.甚至它所产生的电磁转矩不足以克服机械摩擦.从而使得该做马达不能正常运行.而许多传统的减少摩擦的有效方法(如安装滚珠轴承,加润滑油等)又往往不适用干微马达.
深人研究结果表明:当微执行器中运动部件的几何尺寸小到纳米数量级时,原有宏观摩擦学中的一些基本规律将不再适用。于是出现了微观摩攘学。虽然目前微执行器中的运动部件的几何尺寸一般均在徽米数量级甚至更大,还不属于徽观摩擦学范畴.但随着微执行器几何尺寸的不断减小。摩擦对其输出力矩的影响将越来越大。为了提高傲执行器的工作效率和品质,对其中的摩拣和磨损问题还是值得高度重视,并需要开展深人研究的,
2)加工制造工艺随着浮球液位计执行器体积的不断减小,在加工制造工艺方面.许多传统的机械加工工艺(如车、铣、淞、铸等)已不能完全胜任,需要借助于现代徽电子
工业中的微细加工技术、组封装技术和超梢密装配技术来完成。微制造技术是制造尺寸为亚毫米到纳米数量级的微小器件的重要加工方法.因此也是研究开发微执行器的工艺基础。例如在直径仅为I mm的电磁型微马达中的定子绕组就无法采用传统绕制工艺,而只能借助于微细加工工艺来完成。
3)多学科交又微执行器的发展历史很短,至今仅数十年时间。但开发和研究所涉及的面很广,是多学科前沿的综合交叉。且玻璃管液位计加工工艺复杂,加工设备先进.图1一4显示了它的设计、加工所涉及的学科和基本工艺流程。
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