传感器是测试仪器不可缺少的感知器件。传感器是测试仪器的眼睛、鼻子、耳朵、皮肤、舌头,是探测外部微弱信号的感知器官,它是现代检侧、控制的重要组成郊分。山于电子技术的不断进步,计算机技术的飞速发展,促进传感器技术日新月异地推1’一使用,因此它在科学技术领域中的重要地位越来越突出.已经成为一门新兴的科学技术。
传感器按其结构原理来分,大致分为三类:
结构型传感器。大多数是通过结构部分的位移,将被测参数转换成相应的电阻、电感、电容等变化,从而检测出被测量。这是目前应用最多、最普遍的传感器。
物性型传感器。它是利用某些材料本身的物玻璃管液位计性变化来实现被测量的变换,其主要是以半异体、电介质、磁性体等作为敏感材料的固态器件。这些器件具有灵敏度高、质哑轻、体积小、便于集成等优点。它减少r对被测对象的影响,提高r响应速度,能解决常规结构型传感器不能解决的某些特殊参数及一作接触测It问题,从而大大扩展了传感器的应用领域。
智能型传感器。‘亡是一种带有微处理器的、兼有检渊信息‘j信息处理功能的传感器。在半导体基片上,采用微电子加工技术把传感器功能、逻辑功能、存储功能集成在一起.使传感器具有自动校正、自动补偿并进行数字处理、图像识别、存储、记忆等功能。传感器的应用领域日益广泛,主要应用在交通运输、工业测量控制、医疗设备、防火安全技术、动力资源开发、粮食生产加工、公害防治、机械制造加工、科学计量测试、信息通信处理等领域。
传感器的检测参数以机械量为最多.其次是光学量、化学双法兰液位计量、温度、生物量、湿度等。传感器的依据是各种转变功能,其中与物理有关的占大多数:光电效应、光导电效应为代表的光电变换功能最为引人注目,其次是压电变换、热电变换和磁电变换。上述四种变换功能占了一大半以上。
目前应用最多的是结构型传感器,例如力平衡式、电容式、电感式、振弦式等传感器来测最压力、位移、流量、温度等。随着新型材料的开发,相关技术的应用以及制造工艺的改进,传感器技术的发展具有以下特点:
(1)固态能。目前发展最快的固态物性传感器,主要是半导体、电介质和强磁体三类。
(2)多功能、集成化。随着传感器应用领域的不断扩大,借助于半导体的蒸镀技术、扩散技术、光刻技术、精密细微加工以及组装技术等,使传感器已从单一元件、单一功能向多功能、集成化方向发展。所谓多功能化就是使传感器具有多种参数检测功能,而集成化就是把传感器部分与信息处理或转换部分及电源等利用半导体技术制作在同一芯片上。
(3)向图像传感器方向发展。目前已孔板流量计研制出了各种二维图像传感器,例如CCD固态摄像器件BBII)及MOSID摄像器件等。
(4)智能化。利用大规模集成电路技术,使传感器与后面的信号处理部分等组合在一起以强化传感器功能,如可以自我诊断、非线性误差补偿、数字化运算、信息处理、改变软件即可实现功能的扩展等,进一步使传感器具有视、嗅、触、听觉以及存储、思维功能。
(5)光学化。应用微光电技术,用于信息的接收、显示、信号的转换和远距离传输。
世界上传感器的种类有20000余种,在这里只对部分新型传感器作一些介绍。
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